乾式真空幫浦

乾式真空幫浦｜原理、種類、優缺點與應用完整介紹

什麼是乾式真空幫浦？

乾式真空幫浦（Dry Vacuum Pump）是指在進氣、壓縮至排氣的完整運作過程中，腔體內部與轉子運動完全不使用任何油脂或液體進行潤滑與密封的真空設備。

工作原理

主要透過內部兩顆或多顆非接觸型精密轉子（如螺桿、渦旋、爪式或魯式結構）進行同步反向旋轉。轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間保持極小的微米級間隙，在不發生物理摩擦的情況下，藉由體積腔室的連續改變來吸入、壓縮並排出氣體，達到抽取真空的目的。

乾式真空幫浦有哪些種類？

• 螺桿式（Screw Type）：利用一對平行、等速反向旋轉的陰陽螺桿，將氣體沿著軸向推擠並壓縮排出。具備高抽氣速度與極佳的粉塵/顆粒耐受力。
• 渦卷式（Scroll Type）：由一個固定渦卷與一個偏心運轉的動態渦卷組成，氣體由外圍進入並向中心壓縮排出。體積小、運轉極為平靜且震動低。
• 爪式（Claw Type）：採用形似雙爪的轉子結構進行抽氣與壓縮，結構剛性強、耐腐蝕，非常適合極端工業環境。
• 魯式等（Roots Type）：採用雙葉或三葉型轉子，抽氣流量大，常作為真空系統中的前段增壓幫浦（Booster Pump）。
• 往復式/碳精片式（Piston / Carbon Vane Type）：透過往復運動或無油碳精片進行抽氣（如KHA高真空系列），體積輕巧且維護結構簡單。

乾式真空幫浦有哪些優點？

• 無油：系統內部全無潤滑油，能徹底杜絕油氣回流（Back Streaming）對高潔淨環境的威脅。
• 降低污染：不會產生油霧排放，氣體品質不受碳氫化合物污染，保護成品純度並提供清潔的工作環境。
• 維護：免去定期更換真空油、清理油泥與處理廢油的繁瑣流程，節省耗材與停機保養成本，整體設備壽命更長。
• 適用製程：具備高抗腐蝕能力，能安定處理含有化學毒性、腐蝕性氣體或帶有微粒粉塵的嚴苛工業製程。

乾式真空幫浦與油式真空幫浦差在哪？

乾式真空幫浦可以應用在哪些產業？

• 半導體與光電產業： 精密晶圓製造、面板薄膜鍍膜等需極高潔淨度的前段製程。
• 化工與生醫製藥： 需處理具腐蝕性、易燃易爆或毒性氣體的提純與乾燥反應。
• 實驗室與醫療院所： 對噪音與環境氣體品質有嚴格要求，常選用消音箱式（如 KCS 系列）或低震動機型。
• 自動化與大型工業： 包裝機、印刷裝訂機、吸盤搬運設備（如KRX/KRA 大流量組合型）。

如何選擇適合的乾式真空幫浦？

針對不同設備需求，建議從以下 7 大要素進行評估：

• 真空度：確認製程所需的極限壓力（abs），例如高真空需求可選擇 KHH/KHA 系列。
• 抽氣速度：依據腔體體積與抽氣時間要求，挑選合適流量（L/min 或 m³/h）。
• 氣體種類：評估抽取的氣體為一般空氣、水蒸氣或易燃易爆氣體。
• 製程環境：工作場所是否對噪音有嚴格限制（可考慮箱型式 CBXP 系列）或安裝空間大小（可選擇KM/KZ 小型系列）。
• 腐蝕性氣體：若含強酸強鹼氣體，需確認內部材質與鍍膜防護等級。
• 污染要求：是否要求絕對無塵、零油霧，決定幫浦結構種類。
• 使用頻率：長期連續運轉或間歇性抽氣，影響冷卻方式與選型。

乾式真空幫浦常見問題