乾式真空幫浦
乾式真空幫浦 (Dry Vacuum Pump) 完全指南：定義、規格與產業應用
一、 什麼是乾式真空幫浦？
乾式真空幫浦 (Dry Vacuum Pump) 是指在進氣、壓縮及排氣的完整行程中，轉子運動過程完全不使用油脂或液體進行潤滑或密封的真空設備。
這種「無油式運轉」的設計，能從根本上消除油氣回流 (Back Streaming) 對系統造成的汙染，是實現高品質、高潔淨製程的核心關鍵。
二、 為何乾式運作能達成理想的真空環境？
乾式真空幫浦透過精密設計的非接觸型轉子（如渦旋式、螺桿式或往復式）運作，其幫助達成真空環境的優勢如下：
- 高潔淨度： 系統內不含油與水氣，防止抽除氣體與幫浦油接觸產生微粒，確保成品純度。
- 抗腐蝕性： 無油潤滑結構能更從容應對半導體、光電產業中具有腐蝕性的製程氣體。
- 低維護成本： 不需定期更換幫浦油，減少廢油處理費用與停機保養時間。
- 廣泛運作區間： 無壓力限制，可在低真空至高真空環境下穩定運轉。
三、 應用場域與推薦機型
根據不同的作業需求，乾式真空幫浦被廣泛應用於以下領域：
- 半導體與光電產業： 需極高潔淨度與穩定真空度，推薦 KHA、KHH 等高真空系列。
- 大型工業與印刷裝訂： 需大流量與集中配管，推薦 KRA、CBX 組合型系列。
- 自動化機械設備： 需輕量化且易於整合，推薦 KM、KZ 小型系列。
- 低噪音工作環境： 實驗室或醫院，推薦 KCS 隔音箱系列或 CBXP 箱型系列。
四、 乾式真空幫浦詳細規格表
1. 標準型、組合型與箱型 (Standard & Large Capacity)
| 系列名稱 | 常用真空度 / 壓力 | 流量 (60Hz) | 核心特點 |
|---|---|---|---|
| KRX 標準型 | 60 kPa 以下 | 155–685 L/min | 無油霧、壽命長，附調整器。 |
| KRA 組合型 | 55 kPa 以下 | 1350–2200 L/min | 適合大型高速、大流量集中配管。 |
| CBX 組合型 | 真空/排氣 60 kPa 以下 | 280–1115 L/min | 雙汽缸設計，可同時獨立進行真空與排氣。 |
| CBXP 箱型式 | 真空 60 kPa / 排氣 80 kPa | 685–2200 L/min | 多達 24 種組合，低噪音設計（減 3-5dB）。 |
2. 高真空型與特殊用途 (High Vacuum & Specialty)
| 系列名稱 | 極限壓力 (abs) | 流量 (60Hz) | 核心特點 |
|---|---|---|---|
| KHH 高真空 | 1.3 kPa 以下 | 27.5–179 L/min | 直結式設計，適合需高真空度之行業。 |
| KHA 高真空 | 8 kPa 以下 | 65–400 L/min | 碳精片壽命長（他社 2 倍），適用電子機械。 |
| KCS 消音箱式 | 10.7–2.7 kPa | 33–85 L/min | 往復式結構搭配隔音箱，極致靜音。 |
| KM/KZ 小型 | 55 kPa 以下 | 29–205 L/min | 單手可拿起之重量，適合小型設備整合。 |
五、 誰適合購買乾式真空幫浦？
選擇真空幫浦應視「製程需要」而定。雖然乾式購置成本較高，但若您有以下需求，乾式將是您的首選：
- 極致潔淨需求者： 產品不容許任何碳氫化合物或油霧污染（如半導體成品）。
- 追求長期效益者： 希望省下更換幫浦油的耗材費與人力，並要求更長的設備壽命。
- 環境品質要求者： 需在低噪音環境工作，並致力於減少製程廢棄物以保護環境。
- 高精密自動化廠： 需要體積小、重量輕且能連續高真空運轉的設備。